የ FAB ንፁህ ክፍል ለምን እርጥበት መቆጣጠር አለበት?

እርጥበት በንጽህና ክፍሎች ውስጥ የተለመደ የአካባቢ ቁጥጥር ሁኔታ ነው. በሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍል ውስጥ ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ኢላማ እሴት ከ 30 እስከ 50% ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል, ይህም ስህተቱ በ ± 1% ጠባብ ክልል ውስጥ, ለምሳሌ እንደ ፎቶሊቶግራፊያዊ አካባቢ - ወይም በሩቅ አልትራቫዮሌት ማቀነባበሪያ (DUV) አካባቢ ውስጥ አነስተኛ ነው. - በሌሎች ቦታዎች በ ± 5% ውስጥ ዘና ማለት ይችላሉ.
ምክንያቱም አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ለንጹህ ክፍሉ አጠቃላይ አፈጻጸም አስተዋጽኦ የሚያደርጉ በርካታ ምክንያቶች አሉት፡-
● የባክቴሪያ እድገት;
● ሰራተኞቹ በክፍል ሙቀት ውስጥ የሚሰማቸው ምቾት መጠን;
● የማይንቀሳቀስ ክፍያ ይታያል;
● የብረት ዝገት;
● የውሃ ትነት ኮንደንስ;
● የሊቶግራፊ ውድቀት;
● የውሃ መሳብ.
 
ከ 60% በላይ አንጻራዊ እርጥበት ባለባቸው አካባቢዎች ባክቴሪያዎች እና ሌሎች ባዮሎጂያዊ ብከላዎች (ሻጋታ ፣ ቫይረሶች ፣ ፈንገሶች ፣ ምስጦች) በንቃት ሊባዙ ይችላሉ። አንጻራዊው እርጥበት ከ 30% በላይ በሚሆንበት ጊዜ አንዳንድ እፅዋት ሊበቅሉ ይችላሉ. አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ከ 40% እስከ 60% ሲሆን የባክቴሪያ እና የመተንፈሻ አካላት ተጽእኖ መቀነስ ይቻላል.
 
ከ 40% እስከ 60% ባለው ክልል ውስጥ ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን እንዲሁ ሰዎች ምቾት የሚሰማቸው መጠነኛ ክልል ነው። ከመጠን በላይ እርጥበት ሰዎች የመንፈስ ጭንቀት እንዲሰማቸው ሊያደርግ ይችላል, ከ 30% በታች የሆነ እርጥበት ደግሞ ሰዎች ደረቅ, የተበታተኑ, የመተንፈሻ አካላት ምቾት እና ስሜታዊ ምቾት እንዲሰማቸው ያደርጋል.
ከፍተኛ የእርጥበት መጠን በእውነቱ በንፁህ ክፍል ላይ ያለውን የስታቲክ ክፍያ ክምችት ይቀንሳል - ይህ የሚፈለገው ውጤት ነው. ዝቅተኛ የእርጥበት መጠን ለክፍያ ክምችት እና ሊጎዳ የሚችል የኤሌክትሮስታቲክ ፍሳሽ ምንጭ የበለጠ ተስማሚ ነው። አንጻራዊው እርጥበት ከ 50% በላይ በሚሆንበት ጊዜ, የማይለዋወጥ ክፍያው በፍጥነት መበታተን ይጀምራል, ነገር ግን አንጻራዊው እርጥበት ከ 30% በታች ከሆነ, በንጣፉ ላይ ወይም ባልተሸፈነው ወለል ላይ ለረጅም ጊዜ ሊቆዩ ይችላሉ.
በ 35% እና 40% መካከል ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን አጥጋቢ ስምምነት ሊሆን ይችላል፣ እና ሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍሎች ብዙውን ጊዜ የማይንቀሳቀስ ክፍያን ለመገደብ ተጨማሪ መቆጣጠሪያዎችን ይጠቀማሉ።
 
የዝገት ሂደትን ጨምሮ የበርካታ ኬሚካላዊ ግብረመልሶች ፍጥነት ይጨምራል አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ይጨምራል። በንፁህ ክፍል ዙሪያ ለአየር የተጋለጡ ሁሉም ገጽታዎች ቢያንስ በአንድ ሞኖላይተር ውሃ በፍጥነት ይሸፈናሉ. እነዚህ ንጣፎች ከውሃ ጋር ምላሽ ሊሰጡ በሚችሉ ቀጭን ብረት ሽፋን የተዋቀሩ ሲሆኑ, ከፍተኛ እርጥበት ምላሹን ያፋጥነዋል. እንደ እድል ሆኖ, እንደ አሉሚኒየም ያሉ አንዳንድ ብረቶች ከውሃ ጋር መከላከያ ኦክሳይድ ሊፈጥሩ እና ተጨማሪ የኦክሳይድ ምላሽን ሊከላከሉ ይችላሉ; ነገር ግን እንደ መዳብ ኦክሳይድ ያለ ሌላ ጉዳይ መከላከያ አይደለም, ስለዚህ ከፍተኛ እርጥበት ባለው አካባቢ, የመዳብ ንጣፎች ለዝገት የተጋለጡ ናቸው.
 
በተጨማሪም, ከፍተኛ አንጻራዊ እርጥበት ባለው አካባቢ, የፎቶሪሲስቱ እርጥበት በመምጠጥ ከመጋገሪያው ዑደት በኋላ ይስፋፋል እና ይባባሳል. Photoresist adhesion በከፍተኛ አንጻራዊ የእርጥበት መጠንም አሉታዊ ተጽዕኖ ሊያሳድር ይችላል; ዝቅተኛ አንጻራዊ የእርጥበት መጠን (30% ገደማ) ፖሊሜሪክ ማሻሻያ ሳያስፈልግ እንኳን የፎቶሪሲስት ማጣበቅን ቀላል ያደርገዋል።
በሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍል ውስጥ አንጻራዊ የእርጥበት መጠን መቆጣጠር የዘፈቀደ አይደለም. ነገር ግን, ጊዜ ሲቀየር, የተለመዱ, በአጠቃላይ ተቀባይነት ያላቸው ልምዶችን ምክንያቶች እና መሠረቶችን መገምገም የተሻለ ነው.
 
እርጥበት በተለይ ለሰብአዊ ምቾታችን ላይታይ ይችላል, ነገር ግን ብዙውን ጊዜ በምርት ሂደቱ ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል, በተለይም እርጥበት ከፍተኛ ነው, እና እርጥበት ብዙውን ጊዜ በጣም የከፋ ቁጥጥር ነው, ለዚህም ነው በንጹሕ ክፍል ውስጥ ባለው የሙቀት መጠን እና እርጥበት ቁጥጥር ውስጥ, እርጥበት ይመረጣል.